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臭氧机水消毒灭菌是急速的，臭氧消毒作用在瞬间发生。清水中臭氧浓度一旦达到，在0.5～1分钟内就杀死细菌，在臭氧浓度达4mg/L，在1分钟内乙肝病毒灭活率为100%。臭氧浓度为0.25～38mg/L时，仅需几秒或几分钟完全灭活甲型肝炎病毒（HAV）。